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型號
EP-1510
EP-2010
EP-2515
工
作
臺
金屬工作臺面尺寸
300×170mm
350×170mm
420×250mm
玻璃臺面尺寸
175×127mm
225×120mm
290×190mm
X坐標行程
150mm
200mm
250mm
Y坐標行程
100mm
Z坐標行程
90mm
X,Y坐標數顯分辨率
0.001mm
軸向測量精度
（3+L/100）um
投
影
屏
投影旋轉范圍
0~360度
旋轉角度數頁分辨率
0.01度
平面及表面輪廓精度
0.08%
投影屏尺寸
直徑315mm
直徑415mm
物
鏡
放大倍率(任選其一)
10×
20×
50×
物方視場范圍(直徑)
30mm
15mm
6mm
40mm
20mm
8mm
物方工作距
75mm
35mm
81mm
71mm
65mm